电子束蒸发的优点在于：
电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。溅射方式是用高速正离子轰击靶材表面，通过动能传输，令靶材的分子（原子）有足够的能量从靶材表面逸出，在产品表面凝聚形成薄膜。用溅射的方法制镀的薄膜附着性强，薄膜的纯度高，可以同时溅射多种不同成分的材料，但是对靶材的要求高，不能象电子枪一样节约资源。目前运用多的有磁控溅射，磁控溅射是指平行于阴极表面施加强电场，将电子约束在阴极靶材表面附近，提高电离效率。它是操作简单的一种，所以运用非常广。
多功能真空镀膜机的组成
多功能真空镀膜机，发明结构简单，操作方便，功能齐全，能够保持真空室内无尘环境，而且能够对镀膜机内部快速降温，提高工作效率，设置有密封圈可以防止气体的泄漏。多功能真空镀膜机包括真空镀膜机本体、控制面板、迅速降温装置、补充气体管、补充气体箱、抽气管、抽气箱、扩散泵、罗茨泵、机器泵、抽气除尘器、抽气空气泵、补充气体除尘器、补充气体空气泵，迅速降温装置包括框体、水槽、入水塞、海绵金属网、散热风扇、进风口，控制面板设置于真空镀膜机本体的左侧，迅速降温装置设置于真空镀膜机本体的右侧，补充气体箱通过补充气体管与真空镀膜机本体内部连通，抽气箱通过抽气管与真空镀膜机本体连接，机器泵与抽气管连接，罗茨泵与机器泵连接，抽气除尘器的一端与抽气管连接，另一端与抽气空气泵连接，抽气除尘器和抽气空气泵都设置于抽气箱内，补充气体除尘器和补充气体空气泵都设置于补充气体箱内，补充气体除尘器通过补充气体管与真空镀膜机本体内部连通，补充气体空气泵与补充气体除尘器连接，水槽设置于框体的底部，入水塞设置于水槽上，海绵金属网的顶端与框体顶端连接，底端与水槽底端连接，散热风扇设置于海绵金属网的后方，进风口设置于框体的左右两侧。
引起镀膜玻璃膜层不均匀原因有哪些
由于残余气体的存在，不但影响膜的纯度及质量，还会产生。所以在生产中要选用高纯度的气为工作气体，严格控制真空室的漏气速率，以减小残余气体对原片及膜层的污染。将残余气体的压力控制在10Pa以下，要经常清理加热室、玻璃过渡室、溅射室的环境，减少扩散泵返油对玻璃的污染。同时可适当提高阴极的溅射功率，以增加粒子动能及扩散能力，这将有利于清除被镀膜玻璃表面的残留物质，减少镀膜玻璃的。镀膜玻璃膜的膜层均匀度一般地讲，同一基片上膜层厚薄不同，就称之为膜层不均匀。引起镀膜玻璃膜层不均匀的原因是多方面的。磁控溅射靶的水平磁场强度（B）对膜层均匀度的影响磁控溅射的关键参数之一是与电场垂直的水平磁场强度B，因为水平磁场强度B要求在阴极靶的表面是一个均匀的数值。而实际生产过程中值是随着使用方法及时间的推移，产生一定的变化，而出现不均匀现象。我们从溅射过的阴极靶材的刻蚀区的变化情况就可以验证。