对于真空泵机组来讲，我们在很大的程度上其实也就是要注意依据说明书规定与使用实际情况来进行确定它本身的一个换油期限。接下来，就新泵与修理之后的泵来讲的话，我们其实也就是要注意应该现作运转试验4～6 h，检查泵是不是能符合它本身的一个使用要求。
再者，就另外一个方面来讲，就其真空泵机组在进行使用了比较长的时间之后(2～3年不等)，就其极限真空度有所下降，鉴于如此，我们其实也就是应该是要进行一次检修。与此同时，就其在另外一个方面来讲，我们其实也就是应该对系统、管道以及其阀门与电动机等加以清洗与检修。
后来讲，就真空泵机组在进行使用的时候，由于系统损坏等相关的特殊事故，或者是进气口突然暴露大气的时候，就这一点来讲，我们其实也就是要注意应该是要尽快进行停止真空泵机组的操作，接下来，我们其实也就是要注意应该是要切断和系统进行连接的真空管道。
无论是用還是别的溶剂清洗的爱德华真空泵件，必需要等到或溶剂完全挥发了才能够做好装配。爱德华真空泵油若与别的的油或溶剂或水混和会毁坏其特性，影响爱德华真空泵的性能指标。橡胶圈要擦干净，认真仔细有没有缺点和裂缝，外形尺寸是不是合理，外形尺寸不对将影响密封性。但凡有加热位置的橡胶圈，每一次拆换清洗时必需换，比如油增压泵各个接口，荏原真空泵维修，装配时泵件同样需要轻拿轻放;紧螺丝时用劲要均，要从对角紧起。动密封性常用轴封，上轴封时要细心，先检查轴封本身有没有缺点，密封面是不是平整，轴封簧弹性怎样，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂，哪里维修真空泵，上轴封时用劲要均，骨架轴封不可以压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别挤进去，没有了轴封簧轴封就无效了。特别注意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，真空泵维修，对轮的同轴性规定很严苛，装配时要从轴的四边去量，确保平行一致。
双圆裂片式设计和目前*流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些*早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式(干式真空泵维修)设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
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