







光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为哪些膜
光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为:反射膜、增透膜/减反射膜、滤光片、偏光片/偏光膜、补偿膜/相位差板、配向膜、扩散膜/片、增亮膜/棱镜片/聚光片、遮光膜/黑白胶等。相关衍生的种类有光学级保护膜、窗膜等。
光学真空镀膜机光学薄膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割;膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的;可以是透明介质,也可以是吸收介质;可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。实际应用的薄膜要比理想薄膜复杂得多。这是因为:制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,起表面和界面是粗糙的,从而导致光束的漫反射;膜层之间的相互渗透形成扩散界面;由于膜层的生长、结构、应力等原因,形成了薄膜的各种向异性;膜层具有复杂的时间效应。
真空PVD镀膜涂层工艺冷却如何进行?
1.高阀关闭,真空计关闭,真空室与泵组隔离;
2.当操作人员按下N2vent按钮,预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室,当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时,N2充气阀关闭。
3.真空室内充入了大量N2,真空度很低,更加有利于热传导,所以降温速度比不充冷却N2时快很多,缩短冷却时间,提高生产效率,实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。
4.由于氦气的热传导率更高,所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快,但是成本也更高。
5.国外设备快速冷却程序,通过冷却气体的循环冷却,能缩短冷却时间50%。
为什么要进行压升率测试?
真空环境条件是影响终涂层质量重要的因素。镀膜前,必须进行压升率测试,以保证真空环境条件满足镀膜标准。
怎样进行压升率测试?
在我们的自动镀膜工艺中,压升率测试是自动进行。当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后,进入压升率测试步骤。
系统会自动关闭高阀,此时真空室与泵组隔离,真空室内压力会升高。在一定时间内(一般1分钟),如果压力不超过设定的报警值,系统会自动进行下一步程序,进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值,系统会有报警提示,此时,操作人员应按照操作流程,再次进行抽真空和加热烘烤,然后重复进行压升率测试,直至压升率满足镀膜条件。
因此现在市面上有多功能离子真空镀膜机的出现,通过大量试验及工业化应用,本项目得出以下结论:
(1)所设计的多种镀膜技术复合的多功能离子镀膜机是成功的。
(2)该设备可大面积低成本制备表面光洁致密、平滑细腻,性能优异的类金刚石膜及金属氮(或碳)化物多元多层膜。
(3)采用特殊的多层梯度中间过渡层及掺杂技术,降低了内应力,提高了膜/基结合力,有利于膜层生长(厚达6mm)。
(4)所制备DLC膜具有优异的综合性能:硬度>20GPa(高达37.25GPa),厚度可调(厚达6mm),膜/基结合力>50N(高达100N),摩擦系数<0.2,膜层光洁细腻。
(5)所开发出的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC多元多层耐磨耐热自润滑涂层具有良好的综合性能:硬度高达28.7GPa,厚度1-4mm可调,膜/基结合力大于70N,摩擦系数小于0.2。
(6)所研制的耐磨减摩膜已成功应用于多种高精密工模具以及精密关键部件上。应用结果表明:膜层的表面强化效果显著,可大幅度提高产品质量及使用寿命。
