







光学镀膜机对于单片膜色不均匀产生的原因光学镀膜机主要是由于基片凹凸严重,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,形成的膜厚差异大。另外镜片被镜圈()边缘部遮挡、镜圈()脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。改善思路:改善镜片边缘的蒸发角。改善对策:㈠ 条件许可,用行星夹具;㈡ 选用伞片平坦(R大)的机台;㈢ 根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。㈣ 如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可改善单片的膜色均匀性。㈤ 改善镜圈(),防止遮挡。㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡㈦ 清洁镜圈()㈧ 改善膜料蒸发状况。
实验室中使用小型镀膜设备
实验室中使用小型镀膜设备我们在实验室中使用的基本上都是小型的镀膜设备,下面我们就来了解一下这种设备。用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所,直径一般为400~700mm,高400~800mm,用不锈钢或碳钢制作,有水冷却装置。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染,消除空间碰撞,提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性,真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置,如用行星运动方式,这种运动方式成膜均匀性好,台阶覆盖性能良好,镀件装载量大,可以充分利用真空镀膜室的有效空间,是目前经常采用的运动方式。排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。为了提高抽气速率,可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此,排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环,也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。
真空镀膜机中钨丝的用途:钨丝是真空镀膜机中不可或缺的材料,下面为大家讲一下这种材料的使用用途。钨丝除少量用作高温炉的发热材料、电子管的热子和复合材料的加强筋等外,绝大部分都用于制作各种白钨丝炽灯和卤钨灯的灯丝以及气体放电灯的电极。对用作气体放电灯阴极的钨丝或钨杆,为降低其电子逸出功,须加入0.5~3%的钍,称为钨钍丝。由于钍是一种性元素,污染环境,故有用来代替钍作成钨丝或钨杆的。但的蒸发率高,所以钨丝或钨杆只能用于小功率的气体放电灯。
