有油真空系统基本是以油扩散泵为主泵，前级泵采用机械泵或者罗茨泵。我们知道，油扩散泵的压力方位比较大，同时抽气速率非常的高，能够达到每秒十几万升。其工作能力在业内是数一数二的，这也得益于其具有良好的性能。从优点上来讲，有油真空系统工作可靠，没有振动，没有噪音，寿命长，维护建档透支费用低，是很多厂家都喜欢使用的。但是其缺点也非常的明显，就是会形成污染源，大规格泵在这方面更加的严重。
真空镀膜设备背压检漏法
(1)充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放一定时间，如被检件有漏孔，示漏气体就可以通过漏孔进入被检件的内部，并且将随浸泡时间的增加和充气压力的升高，被检件内部示漏气体的分压力也必然会逐渐升高。(2)净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部或在其内部喷吹被检件。如不具备气源时也可使被检件静置，以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。在净化过程中，因为有一部分气体必然会从被检件内部经漏孔流失，从而导致被检件内部示漏气体的分压力逐渐下降，而且净化时间越长，示漏气体的分压降就越大。(3)检漏过程则是将净化后的被检件放入真空室内，将检漏仪与真空室相连接后进行检漏。
真空镀膜机为塑料件镀膜时抽真空时间长的原因
1、真空室有漏气现象：大家都知道，多弧离子镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的，若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置，则真空镀很长时间都不能抽得上来的；
2、即使真空室没有漏气，因为塑料产品的放气量大，所以抽真空，溅控溅射镀膜机特别是高真空很难达到。而且由于塑料产品的放气，造成真空室内镀膜气体的不纯，有杂气的存在，造成镀膜产品的颜色发暗，发黄，发黑等。
