







现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(QCM)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过PID控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。光学监测是一种涂层优选的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。
多功能真空镀膜机的组成
多功能真空镀膜机,发明结构简单,操作方便,功能齐全,能够保持真空室内无尘环境,而且能够对镀膜机内部快速降温,提高工作效率,设置有密封圈可以防止气体的泄漏。多功能真空镀膜机包括真空镀膜机本体、控制面板、迅速降温装置、补充气体管、补充气体箱、抽气管、抽气箱、扩散泵、罗茨泵、机器泵、抽气除尘器、抽气空气泵、补充气体除尘器、补充气体空气泵,迅速降温装置包括框体、水槽、入水塞、海绵金属网、散热风扇、进风口,控制面板设置于真空镀膜机本体的左侧,迅速降温装置设置于真空镀膜机本体的右侧,补充气体箱通过补充气体管与真空镀膜机本体内部连通,抽气箱通过抽气管与真空镀膜机本体连接,机器泵与抽气管连接,罗茨泵与机器泵连接,抽气除尘器的一端与抽气管连接,另一端与抽气空气泵连接,抽气除尘器和抽气空气泵都设置于抽气箱内,补充气体除尘器和补充气体空气泵都设置于补充气体箱内,补充气体除尘器通过补充气体管与真空镀膜机本体内部连通,补充气体空气泵与补充气体除尘器连接,水槽设置于框体的底部,入水塞设置于水槽上,海绵金属网的顶端与框体顶端连接,底端与水槽底端连接,散热风扇设置于海绵金属网的后方,进风口设置于框体的左右两侧。
光学镀膜材料真空应用领域
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电,使电解液电解,被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上,因此这种镀膜的条件,基体必须是电的良导体,而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法,必须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差,而且镀膜既不均匀也不易控制,同时还会产生大量的废液,造成严重的污染。因此,这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。
