







真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用
真空镀膜机的发展相当迅速,随着生产率的提高,生产费用大大降低,已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。
以卷绕式真空镀膜机为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm,大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用,卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。
真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2,可以在这个范围内选择,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室,左下室和右下室。蒸镀时,两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。
真空镀膜机是如何操作真空电阻式蒸发镀膜机的
随着真空镀膜机的工艺发展不断革新,而硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展。成为现代企业优选的镀膜工艺。今天我们通过中国真空协会的剖析后,给予详细作答。其实镀膜机的正常操作方法应该参考操作手册的指示操作。
不过大致的操作程序,我们简单的说一下吧:
1、检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在;关位置。
2、打开总电源开关,真空镀膜设备送电。
3、低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
4、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
5、落下钟罩。
6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。
7、开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。
8、多弧离子镀膜机当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。
9、真空镀膜设备开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。
10、低压阀拉出。立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序:左下旋钮;转至指向2区段测量位置。低真空表;内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀。
真空PVD镀膜基本步骤
1、前处理工艺:褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。
2、镀膜工艺:抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。
3、后处理工艺:清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量。抽真空:将真空室内的残余气体抽走。加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。镀膜:沉积膜层。冷却:避免工件氧化变色。
