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洁净室的控制养护

严格控制洁净室与相邻房间之间的压差同样是保证生产房间空气洁净度的重要环节。不同洁净级别的洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应大于5帕斯卡，洁净区与室外压差应大于10帕斯卡，且送风、回风和排风系流的启闭应联锁并按顺序操作，这样可以避免空气倒流，减少低级别尘埃对洁净室环境的污染。每次生产前及一定的生产周期后须对清洁后的洁净室在静态条件下进行尘埃粒子数的检测，以评价和掌握洁净室尘埃粒子的含量。

影响洁净室价格的因素：

一、单向的、紊流的、垂直或水平气流

在许多案例中，单向气流只在小空间和洁净室的敏感区域内使用，并且使用微环境。污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。多数设计为整体单向气流洁净室外的方案，只有在这些区域中没有作业者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。垂直或水平气流的选择，取决于房间的结构和设备的安放位置，紊流就可以将污染物带走。

二、空气过滤

根据洁净室外的用途，也可以选择其他的设备，例如，在循环风加新风处理系统中，使用HEPA过滤器用碳吸附或相似功能的合成过滤器处理VOC，静电过滤箱，等等。在洁净室市场上，风机过滤不再是新产品，净化车间，正确的应用它可以为许多高水平洁净室提供优越的、经济的解决方案，尤其是在吊顶高度有限的建筑内。

电子洁净室污染因素：

一、电磁噪声

通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。

二、振动

设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。

应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。

三、生锈

酸用通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含CI气的空气中，也会受腐蚀生锈。

处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。