







真空镀膜机的工作原理在镀膜领域,镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此,当评价某薄膜样品的性能时,需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形,这往往需要进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题:首先,不同次生长的样品,仪器的状态不同,以至于影响薄膜样品性能的因素可能不仅仅是厚度;其次,真空镀膜实验装取样品需要重新进行真空的获得,非常耗时。增加了生产和检测的成本。因此,提供一种多功能磁控溅射镀膜系统,本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。多功能磁控溅射镀膜系统主要用途:用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、超导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜。
镀膜设备该选择哪种主泵配置
镀膜设备该选择哪种主泵配置真空系统在镀膜设备行业中可谓是非常重要,是其不缺缺少的设备之一。目前常用的真空系统结构形式一般是由主泵及前级泵串联,加上阀门管道和真空测量仪表组成。而所选的主泵基本上分为两种形式,分别为有油真空和无油真空系统。那么什么是有油真空系统和无油真空系统呢?下面小编来给大家介绍一下:有油真空系统基本是以油扩散泵为主泵,前级泵采用机械泵或者罗茨泵。我们知道,油扩散泵的压力方位比较大,同时抽气速率非常的高,能够达到每秒十几万升。其工作能力在业内是的,这也得益于其具有良好的性能。从优点上来讲,有油真空系统工作可靠,没有振动,没有噪音,寿命长,维护建档透支费用低,是很多厂家都喜欢使用的。但是其缺点也非常的明显,就是会形成污染源,大规格泵在这方面更加的严重。无油真空西永是使用分子泵和低温泵作为主泵的,其特点主要集中在能够连续大量抽气,可以获得清洁无油的超高真空。并且该系统启动时间快,停泵时间短。但是该系统抽重气体比抽轻气体快,对水蒸气类型的的抽速比较慢,当气体大量经过泵的时候,抽速就会下降的很快。这两种真空镀膜设备各有各的优点和缺点,使用者应该考虑自己的需求来进行选购。
离子镀膜设备的工作原理及操作方法目前商业上已有很精制的设备安装在显微镜下的载物台的位置上。溅射镀膜时,将抛光的试样安放在式样头具上,倾转到面对电子(阴极)的位置,调节溅射室中的气压,辉光放电,阴极溅射,反应溅射沉积。一定时间后,中断溅射,把溅射沉积的试样表面,转回到面对物镜的位置,观察试样表面的颜色,来评定沉积膜的厚度,当要求的颜色得到时,镀膜操作停止。
