真空电镀设备的监控方法1、目视监控：使用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。2、极值监控法：当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化，当反射率或穿透率走到极值点的时候，就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长（入）的四分之一的整倍数。但是极值的方法误差比较大，因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。3.定值监控法：此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位，然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少，此即为停止镀膜点。
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统介绍
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统按位置分为控制柜、变压器组和操作台三个主要部分。设备所有功能的控制元器件包括可编程PLC、变频器、调压模块等都装在控制柜里，控制柜的正面安装有电阻、电离复合真空计，安装有增压泵、扩散泵的加热电流表以及三相电源的指示灯、报警指示灯、紧急停止开关。
变压器组安装在真空罐的下面，其输出端正极直接与对应的蒸发电极棒连接，输出端负极并接后再与蒸发负极连接。
操作台安放在真空罐的前方、观察窗的下方，触摸屏、各部件的操作控制按钮、旋钮或开关都设在操作台的面板上。
触摸屏位于操作面板的左上部，卷绕系统参数包括收放卷的张力、卷径、机器的运行速度等的设置和数据显示、真空系统的运行指示都在触摸屏中进行。
操作面板的右上部是蒸发源加热功率调节钮和电流表，可以调节和显示每组蒸发源的功率。
操作面板的下部是功能控制按钮或开关，包括控制电源总开关、卷绕车进退、摆臂进退、弯辊正反转、送丝开关及速度快慢、盖板开关、系统运行的控制模式选择等。
维修真空镀膜机一定要按照步骤操作首先我们要保证镀膜机与地面充分接触，扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作，维持泵半小时后才能关，1小时后断水，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗，必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入，决不能用其他油品代替。
