




在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素,通过对石墨热场的了解,决定热场石墨组件的好坏的因素有很多,其中石墨原材料的选择和加工工艺上非常关键。
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高纯石墨熔金坩埚使用须知!
1、熔解完毕后取出金属熔液时,应用勺子舀出,尽量少用卡钳,注意动作要轻,避免冲击到坩埚使用受力过大而受损。
2、在使用避免强氧化火焰直接喷射到坩埚壁上,这样会使坩埚受损而缩短使用寿命。
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热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
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