广州锂电池氦检测漏机-博为光电|质量可靠

氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，锂电池氦检测漏机，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s[1]。

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：

1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏仪从以往的单方面领域的应用到现在多领域的应用，如：航空航天高科技工业、电力行业、电子行业、真空仪器仪表行业、核工业、制冷行业、不锈钢保温器皿等。其实氦质谱检漏仪的领域应用广发也是代表科技的一大进步，常见的氦质谱检漏仪检测仪方法有漏点型、漏率型两种。

氦质谱检漏仪适用于元件检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。

铀是固态，而扩散分离需要的是气体。为此， 得把金属铀变成氮化物UF6，UF6在室温下就会蒸发。一个不利的因素是，在潮湿气氛中很容易生成腐蚀性很强的和铀的氧化物，铀的氧化物又是***的材料。这两种情况在气体扩散分离法中应当防止。

在曼哈顿计划中， 的分离是把UF6通过几公里长的多孔管道的扩散后才获得的。

对整个扩散系统的密封性要求之高是的。潮湿空气不能进入工艺容器之中。雅可比博士在当时被誉为曼哈顿计划中的橡树岭扩散工厂的总设计师。为了成功的分离出，他对真空检漏技术提出的严格的要求有

（1）新的仪器对空气和残余气体的读数是零，仅对示踪气体有响应。

（2）新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。

（3）仪表的指示能够反映出漏孔的大小， 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中， 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时，明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析， 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化， 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。