
氦质谱检漏仪调氦峰步骤
调氦峰在更换灯丝后及每天开始检漏前检查氦质谱检漏仪灵敏度达不到要求时进行。
1、调氦峰方法:
开漏孔开关,单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”,使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值,然后关漏孔开关,进口检漏仪,如表头指示值变小,说明氦质谱检漏仪接收到氦信号,即找到氦峰;如表头指示值不变,说明不是氦峰,则继续调“V”,直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。
2、调氦峰分辨不好:
①氦和重离子分辨差。
②氦和轻离子分辨差。
3、调氦峰信号小:
①灯丝没正对电离盒上的电子入口。
②灯丝离电离盒太远。
③分辨不好。
④灯丝质量差(受油蒸汽污染或本身发射能力低)。

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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