镀膜设备该选择哪种主泵配置真空系统在镀膜设备行业中可谓是非常重要，是其不缺缺少的设备之一。目前常用的真空系统结构形式一般是由主泵及前级泵串联，加上阀门管道和真空测量仪表组成。而所选的主泵基本上分为两种形式，分别为有油真空和无油真空系统。那么什么是有油真空系统和无油真空系统呢？下面小编来给大家介绍一下：有油真空系统基本是以油扩散泵为主泵，前级泵采用机械泵或者罗茨泵。我们知道，油扩散泵的压力方位比较大，同时抽气速率非常的高，能够达到每秒十几万升。其工作能力在业内是的，这也得益于其具有良好的性能。从优点上来讲，有油真空系统工作可靠，没有振动，没有噪音，寿命长，维护建档透支费用低，是很多厂家都喜欢使用的。但是其缺点也非常的明显，就是会形成污染源，大规格泵在这方面更加的严重。无油真空西永是使用分子泵和低温泵作为主泵的，其特点主要集中在能够连续大量抽气，可以获得清洁无油的超高真空。并且该系统启动时间快，停泵时间短。但是该系统抽重气体比抽轻气体快，对水蒸气类型的的抽速比较慢，当气体大量经过泵的时候，抽速就会下降的很快。这两种真空镀膜设备各有各的优点和缺点，使用者应该考虑自己的需求来进行选购。
真空设备系统的简单介绍
真空设备系统的简单介绍真空设备系统是由什么组成的呢？今天我们就来为大家简单介绍一下。(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
离子镀膜设备的操作规范是怎样的？1、设备中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有***非正常放电装置，维持工作稳定。
