




对无尘室C/R而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中很重要的为天花板,其包含HEPA及ULPA等滤网,洁净房设计,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说:若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,洁净房多少钱,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须准确。
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,洁净房厂家,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体Fabs倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性的病毒或***的污染之特性。在biotech市场,洁净房,清洗真正地是一个很重要的企业。
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。
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