







怎么样延长真空离子镀膜机的使用寿命不管是何种机械,都有一定的使用寿命。使用的时间越久,各方面的性能越不如从前。但是我们可以通过一些***方法,定期对机械进行清洁维护,这样能有效延迟机械的老化,从而延长机械的使用寿命。真空离子镀膜机也需要***。真空离子镀膜机若是不间断使用一年以上,设备里面的抽速就会变慢,所以日常要做好清洗工作。首先充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘和喷嘴。泵腔及泵胆分三次清洗,分别用、洗衣粉、清水依次清洗干净。晒干后重新加入泵油,装好泵胆装回机体,便可以重新开机。另外,粗抽泵连续工作一个月就要换新油。
真空设备系统的简单介绍
真空设备系统的简单介绍真空设备系统是由什么组成的呢?今天我们就来为大家简单介绍一下。(1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。
离子镀膜设备的操作规范是怎样的?1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有***非正常放电装置,维持工作稳定。
