







多弧离子PVD镀膜设备镀工艺及应用
离子镀基本工艺流程
①工件的预热.
一般的离子镀方法使用烘烤加热装置对工件进行加热,而热阴极离子镀则是利用等离子电子束轰击工件;电弧离子镀是利用金属离子轰击工件,对工件加热,达到预热的目的,有时电弧离子镀也采用辅助烘烤加热装置对工件进行预热。
②离子轰击溅射清洗.
一般离子镀的离子轰击溅射清洗是基片施加负偏压,利用辉光放电产生的Ar离子轰击基片,对基片进行离子轰击溅射清洗,而热阴极离子镀是利用等离子电子束轰击辅助阳级,Ar离子轰击基片进行离子轰击溅射清洗;电弧离子镀是利用金属离子轰击工件,对工件加热的同时对工件进行离子轰击溅射清洗。
③离子沉积.
不同的离子镀方法在离子沉积时,所使用的源和离化方法不同,具体的设备不同,沉积的膜层不同,其工艺程序和工艺参数也不同,因此,应根据具体情况确定沉积的工艺程序和工艺参数,还应注意在整个沉积过程中保持工艺参数的稳定。
离子真空镀膜机镀膜工艺及镀膜产品表面防腐方法
不锈钢基材通常会用抛光、拉丝、喷砂、化学蚀刻、激光雕刻、数控机床雕刻等作表面美工处理,有的还用激光焊接,水法电镀镍铬层等。那么离子真空镀膜机启到了很关键的作用,今天至成小编为大家讲解一下离子真空镀膜机镀膜工艺及镀膜产品表面防腐方法。
其实大家都知道,以上介绍几种不锈钢基材表面处理方法,各自有各自的优势和劣势。如:抛光作业会在工件上残留难以去除的硬化了的抛光蜡;尼龙轮拉丝在拉丝沟上会残留透明的不易发现的高分子化合物;砂轮拉丝可能残留磨粒和粘结剂,或因摩擦过热产生氧化皮;喷砂会有陶瓷砂粒﹑玻璃砂粒、氧化铝砂粒残留镶嵌在表面上;化学蚀刻会有腐蚀产物残留在腐蚀坑内,或在其它非腐蚀表面上残留用于防腐蚀的保护物质;激光雕刻处理会产生高温氧化皮和烧蚀基体碎片残留;数控机床雕刻会有高温氧化皮和切削油残留,还会有基材碎片被压入基体上;激光焊接也会导致高温氧化等;水法电镀铬层会生成难以去除的复杂氧化物,这些处理引起的污染不清除会导致离子镀过程打火、镀层假附着、掉膜、颜色不均等不良。
在离子真空镀膜机镀产品中美工处理方式往往不是单一的,而是多种作业组合,这更增加了镀前清洗的困难。采用传统的超声去油除蜡的方法是不能胜任的,必须调整清洗工艺,对不同的污染,可选择机械清除、气相清洗﹑真空加热后再清洗、阴极电解﹑阳极电解、或采用针对性的清洗剂等等。这些综合措施可取得较好的效果,但对有些污染仍未找到理想的解决办法。新近等离子体抛光方法应用到镀前清洗是值得关注的技术,该技术在某些镀层的褪镀取得良好效果。
ITO真空镀膜设备生产特点
1)真空室体资料选用SUS304,真空室内壁进行抛光处理,外壁选用抛光后喷珠处理。
2)真空室之间选用***门阀-插板阀隔开,能够完成有用隔断,安稳技能气体。现在咱们至成真空科技选用插板阀规划,它比现在国内通用的翻板阀密封作用非常好,更经用。
3)传动选用磁导向,确保传动的安稳性。整条出产线的各段速度选用变频调速电机驱动,运转速度可调理。
4)真空电镀设备电气操控体系:触摸屏与PLC自动操控,人机对话办法来完成体系的数据显现、操作与操控
