真空箱氦检漏系统
性能特点：
高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s，R22:0.1克/年。
干式检漏，检漏后试件无需进行干燥。
全自动压力监测，系统自动补充高纯氦气。
氨气回收率高达98%以上
。 多***工位和管路设计， (两箱/三箱)交替工作。
微电脑控制，全自动检测，避免产生误检和漏检。
人机交互界面，实时监测及诊断。
自动判断，声光提示。
输出设备，全数字显示检测结果。
，系统采用配置 确保，自动故障检测。
可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。
高密封性能
专门设计工装夹具，满足氦检漏工艺的密封要求。
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不同真空范围内的抽气时间计算
中真空领域的抽气时间计算
这里所指的中真空领域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面讲的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。
真空抽气要考虑的要素：
(1)到达真空度；
(2)抽气速度；
(3)导通率；
(4)实际抽气速度；
(5)气体放出率；
(6)漏率。
用真空泵对真空腔体抽气时，初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如下图压强和抽气时间的关系。压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：
（1）选择表面放出气体少的材料；
（2）通过电解抛光等手段，真空箱氦检漏系统批发，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附；
（3）对腔体进行烘烤，促进表面吸附气体的放出。
真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。
其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。
所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。
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