锂电池氦检漏设备-博为光电|欢迎咨询

氦质谱检漏的具体方法——背压法

背压法是真空系统检漏中的基础方法之一，结合了压力检漏与真空检漏两者的特点。氦质谱检漏中，背压法的应用原理也是一样的，今天就和华尔升智控一起看下氦质谱检漏方法中的背压法。

背压氦质谱检漏法是一种适用于容积较小被检件的检漏方法，例如半导体一类真空密封器件的无损检漏。它的检漏过程与其他背压法一样包括3个步骤：充压、净化、检漏。

充压过程中，被检件在充有高压氦气的容器中存放一定时间，使氦气经漏孔进入被检件内部，并随着时间的增长，其内部的充气压力及氦分压会逐渐；进入净化阶段后，用干燥氮气等冲刷，或通过静置手段去除吸附在被检件外表面的氦气；将被检件放入真空室并将真空室抽成真空状态，利用压差作用使被检件内部的氦气流出进入检漏仪，检漏仪输出指示判定漏孔的存在及其漏率。

相信不少人可以看出背压法不适合用于有大漏孔的被检件。因为如果漏孔过大，在净化阶段，充入被检件内部的氦气会流失得很快，净化的时间越长，流失得就越严重，会导致检漏仪的输出指示降低，造成漏孔漏率很小的假象，甚至检测不出漏孔。因此在使用背压氦质谱检漏法时，除了避免用于大漏孔的被检件检漏外，还要注意适当充气压力、延长在高压氦气中的浸泡时间，同时缩短净化时间，来提高检漏灵敏度。

氦质谱检漏仪的几种检漏方式

氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种，一种是常规泄漏检测，另一种是反向扩散泄漏检测。反向扩散泄漏检测是将测试件连接到分子泵出气口的末端，并且泄漏的氦气从分子泵出气口进入安装在泵进气口的质谱仪管中，方向相反。泵排气。这种泄漏检测方法基于以下事实：分子泵对不同的气体质量具有不同的压缩率（分子泵出口处的气压与入口处的压力之比），即不同气体的反向扩散。

反向扩散法检漏可以使试件的内部压力更高。氦质谱仪检漏仪可达到300Pa（通常传统检漏仪小于0.05Pa），适用于检测大型容器或泄漏较大的设备。泄漏。反向扩散法还具有不易污染质谱仪管且灯丝寿命长的优点。如果该对的泄漏率和气体释放率较大或体积较大，则如果将泄漏检测器直接连接到泄漏检测器，则可能无法拉高泄漏检测器的真空度，从而导致泄漏检测器无法工作。在这种情况下，必须添加辅助真空系统以提高试件的抽速。简单的辅助真空系统仅需要一个机械泵和两个阀。复杂的系统可以由前级泵，辅助泵，阀门，真空计和标准泄漏组成。次级泵可以是扩散系统或罗茨泵，前级系统优选是气镇机械泵。

将测试件连接到仪器的泄漏检测端口以排空，并用装满氦气的容器覆盖测试件。如果测试件有泄漏，氦气会通过泄漏进入测试件，后到达质谱仪管。检测。测得的泄漏率是被测零件的总泄漏率。无法确定有多少泄漏以及每个泄漏的确切位置。可以看出，钟罩法是基于喷雾法的检漏法。

氦质谱仪检漏仪通常用于电子组件的背压检测。在进行泄漏检测之前，用的加压容器将氦气加压到试件中（压力的大小由压力和时间控制），然后取出试件，吹走表面以吸收氦气，然后将其放置在的容器中。检漏罐。泄漏检测箱连接到泄漏检测器的泄漏检测端口，并排空泄漏检测箱以执行泄漏检测。如果设备中存在泄漏，则被泄漏压过的氦会释放到泄漏检测罐中到达质谱仪管。用这种方法测得的泄漏率也是总泄漏率。

氦质谱检漏的原理

运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其部件质谱室，锂电池氦检漏设备，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。

用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。

专门设计的以氦气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、***定量准确、***、安全、反应速度快等优点。氦质谱检漏仪中用得很多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。

众所周知，当一个带电质点（正离子）以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场H的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，如图1所示。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比（m/e）的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的氦离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有氦离子才能通过狭缝而被接收极接收形成氦离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的