真空箱式氦检漏设备-博为光电|***满意

氦质谱检漏仪的基本原理与组成

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。

目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的，现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下，离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R为偏转半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量和电荷质量之比；U为加速电压（V）。

由上式可以看出，当H和U为定值时，对应于不同的M，有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2，到达收集极K而形成离子流。

利用弱电流测量设备，真空箱氦检设备厂家，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1、M3）则以不同的偏转半径而被分开

真空箱氦检漏系统

性能特点：

高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s，R22:0.1克/年。

干式检漏，检漏后试件无需进行干燥。

全自动压力监测，系统自动补充高纯氦气。

氨气回收率高达98%以上

。 多***工位和管路设计， (两箱/三箱)交替工作。

微电脑控制，全自动检测，避免产生误检和漏检。

人机交互界面，实时监测及诊断。

自动判断，声光提示。

输出设备，全数字显示检测结果。

，系统采用配置 确保，自动故障检测。

可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。

高密封性能

专门设计工装夹具，真空箱氦检漏设备哪家靠谱，满足氦检漏工艺的密封要求。

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氦检漏法

氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏过程中不受其它气体的干扰，因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa.m3.s-1。

运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是：通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同荷质比的离子在场中彼此分开，而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子，就会得到按照荷质比大小，依次分开排列的质谱图，东沙群岛真空箱氦检漏设备，这就是质谱。专门设计的把氦示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的原理是，当一个带电质点(正离子)以一定速度V进入均匀磁场的分析器中后，如果速度V的方向和磁场H的方向相垂直，它的运动轨迹为圆，不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹，这样，不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开，如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉，而在氦粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成氦离子流。并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时，氦气进入检漏仪氦质谱室中，使仪器发生灵敏的反应，产生检漏的作用。

由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。