真空镀膜机原理和各部件分析
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。至成真空科技从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及的***服务***为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。
真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等，腔体由不锈钢"target=_blank>不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。
真空镀膜机真空室形变带来的影响
为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响，我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上，其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑，以吸收和隔离形变，并设置形变补偿调节机构，在系统抽真空之前，参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量，以使其在真空状态下达到平衡。
为了验证有限元计算的结果，对真空室的形变和补偿进行了测试。首先，将四只千分表***在工作台安装基点的真空壁外侧，当真空室由大气抽到真空时，记录各千分表的变化量，经处理后为用激光自准直仪调整设备形变补偿。
由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜，在大气环境下调整设备形变补偿调节机构，使反射光束进入自准直仪接收视场，记录两维角度偏差。
按有限元计算的真空状态下的补偿量再次调整，显然，此时的反射光束已远离自准直仪接收视场，但一旦真空室进入真空状态，反射光束又重新进入自准直仪的接收视场，记录此时的两维角度偏差。前后两次显示的两维角度偏差基本吻合。
工作台运动副的润滑及对真空环境的影响工作台的扫描是处于真空室环境下的频繁运动，除用滚动代替滑动来降低摩擦系数外，在导轨、丝杆等运动副之间采取良好的润滑是保证刻蚀装置长时间正常运行的必要条件。
真空中的润滑的方式通常有镀固体润滑膜和直接使用润滑剂等镀膜容易***导轨的运动精度，且工艺复杂。
为此，我们测试了一种市场商品――二硫化钼润滑剂的润滑效果，将该润滑剂直接喷涂在运动副表面，并用四极质谱仪分析了该润滑剂在真空中挥发出的气体的主要成分。
真空电镀的主要应用范围及真空镀膜机冷却系统的原理
真空电镀大家应该都有一定的了解，它主要包括真空蒸镀、溅射镀和离子镀几种类型，它们都是采用在真空条件下，通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜，通过这样的方式可以得到非常薄的表面镀层，同时具有速度快附着力好的突出优点。
正是由于这些优点，所以真空电镀设备的应用非常广泛，如在ABS料、ABS+PC料、PC料，家用电器、化妆品包装等产品上都有着不错的应用。同时因其工艺流程复杂、环境、设备要求高，单价比水电镀昂贵.现对其工艺流程作简要介绍：产品表面清洁--〉去静电--〉喷底漆--〉烘烤底漆--〉真空镀膜--〉喷面漆--〉烘烤面漆--〉包装。
而真空电镀的做法也是相当复杂，一般是在素材上先喷一层底漆，再做电镀．由于素材是塑料件，在注塑时会残留空气泡，有机气体，而在放置时会吸入空气中的水分．另外，由于塑料表面不够平整，直接电镀的工件表面不光滑，光泽低，金属感差，并且会出现气泡，水泡等不良状况．喷上一层底漆以后，会形成一个光滑平整的表面，并且了塑料本身存在的气泡水泡的产生，使得电镀的效果得以展现。
