氦质谱检漏仪供应商-博为光电(在线咨询)-河源氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的结构

分析器

分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动，从而将它们彼此分开，仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成，如图4所示。磁场方向与离子束入射方向垂直。

由离子源出来的离子束射入它垂直的磁通密度为B的均匀磁场分析器中后，由于分析场中电场为零，所以离子仅受磁场的洛伦兹力作用而作半径为R的圆周运动。偏转半径R与质荷比M/Ze有关，当B及U一定时，相同质荷比的离子具有相同的运动半径，河源氦质谱检漏仪，不同质荷比的离子将以不同的半径偏转而彼此分开。质荷比小的偏转半径小，质荷比大的偏转半径大。在偏转180°处，用一分析器出口电极将其他离子挡住，而使氦离子轨道对准出口电极上的狭缝，氦离子穿过狭缝到达离子收集极形成氦离子流。

氦质谱检漏的具体方法——背压法

背压法是真空系统检漏中的基础方法之一，结合了压力检漏与真空检漏两者的特点。氦质谱检漏中，背压法的应用原理也是一样的，氦质谱检漏仪哪家好，今天就和华尔升智控一起看下氦质谱检漏方法中的背压法。

背压氦质谱检漏法是一种适用于容积较小被检件的检漏方法，例如半导体一类真空密封器件的无损检漏。它的检漏过程与其他背压法一样包括3个步骤：充压、净化、检漏。

充压过程中，被检件在充有高压氦气的容器中存放一定时间，使氦气经漏孔进入被检件内部，并随着时间的增长，其内部的充气压力及氦分压会逐渐；进入净化阶段后，用干燥氮气等冲刷，或通过静置手段去除吸附在被检件外表面的氦气；将被检件放入真空室并将真空室抽成真空状态，利用压差作用使被检件内部的氦气流出进入检漏仪，检漏仪输出指示判定漏孔的存在及其漏率。

相信不少人可以看出背压法不适合用于有大漏孔的被检件。因为如果漏孔过大，在净化阶段，充入被检件内部的氦气会流失得很快，净化的时间越长，流失得就越严重，会导致检漏仪的输出指示降低，造成漏孔漏率很小的假象，甚至检测不出漏孔。因此在使用背压氦质谱检漏法时，除了避免用于大漏孔的被检件检漏外，还要注意适当充气压力、延长在高压氦气中的浸泡时间，同时缩短净化时间，氦质谱检漏仪供应商，来提高检漏灵敏度。

氦质谱检漏仪，气密性检测仪的选择

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，氦质谱检漏仪生产厂家，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s

漏率显围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s

启动时间: ≤5min

响应时间: <2S

检漏口高压力: 300Pa

极限真空: 5×10-4Pa

外形尺寸: 560(W)×420(D)×300(H)

重量:46KG