影响镀膜机磁控靶点火电压的几个因素
气体压力对点火电压的影响：在磁控靶溅射镀膜工艺过程中，由于磁控靶的阴-阳极间距一经确定就是一个大体不变的值，工作气体的压力在一定的(例如0.1Pa~10Pa)范围内变化可能会对点火电压产生较大的影响，总的变化趋势为：随着工作气体的压力的逐步增大，磁控靶点火电压相应降低。不同的磁控靶、不同材质的靶材，靶启辉点火的工作气体压强不尽相同。
电源对点火电压的影响：在同等条件下，选用射频靶电源比选中频或直流靶电源，磁控靶阴极点火电压和工作(溅射)电压都会要降低;选用射频、中频正弦半波或脉冲靶电源，比选低频率同类波形靶电源，阴极点火电压和工作(溅射)电压均会要降低;
真空抽气系统的结构与工作原理
高真空卷绕镀膜机的真空抽气系统由卷绕室抽气机组和镀膜室抽气机组组成。
卷绕室抽气机组由1台油增压泵、2台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油增压泵作为主泵，以保证在达到10-1Pa的工作压力下有较大的抽气速率；
镀膜室抽气机组由1台油扩散泵、1台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油扩散泵作为主泵，以保证铝丝蒸发所需的10-2Pa真空状态。
真空抽气系统由可编程PLC集中控制，在液晶触摸屏上进行操作，分为自动控制和手动控制两种模式。正常操作使用自动模式，PLC将根据在真空计中设定的各级真空值对各台真空泵的启动或停止、阀门的开启或关闭等功能实现自动控制。手动控制模式主要供调试和检修时使用，可以实现单独开闭各泵和阀门的操作。
真空管道上的阀门均为气动控制阀，并采用电磁换向阀控制其开启或关闭，阀门上的气缸配有位置信号开关，方便控制系统对阀门的状态实施监控。
在罗茨泵与滑阀泵的连接管道上装有气动充气阀，可供滑阀泵停止时向泵腔内充入大气之用，其开、闭动作与滑阀泵联动，由可编程PLC控制其滞后或提前的时间。
镀膜室抽气方阀上装有气动放气阀，供卷绕结束时卷绕车退出前向真空室内充入大气之用，其开启动作和时间长短由可编程PLC控制。
各个真空管道上装有真空测量规管座以提供可编程PLC和真空计所需的真空压力信号，同时为维修、检测真空系统各管道的压力提供方便。
真空电镀设备膜厚的不均匀问题
无论监控仪精度怎样，它也只能控制真空室里单点位置的膜厚，一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的，那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性，但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的，所以几乎是不可能消除的，但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响化。
在过去几年中，越来越多的用户要求镀膜系统制造厂家提供的小规格、简便型光学镀膜系统，同时，用户对性能的要求不仅没有降低，反而有所提高，特别是在薄膜密度和保证吸水后光谱变化化等方面。
现在，系统的平均尺寸规格已经在降低，而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。因此，选用现代化光学镀膜系统的关键取决于对以下因素的认真考虑：对镀膜产品的预期性能，基片的尺寸大小和物理特性以及保证高度一致性工艺所必需的所有技术因素。