真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
外漏和内漏
我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。
罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。
外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。
自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践
整套使用PLC自动化控制，触摸屏显示信息流程，自动化控制流程如下：
①操作员(或机械手)将工件放置工装板上，连接工件，真空箱氦检漏设备哪种好，启动按钮，工件随流水线运行至下一工位。工件在工装板上连接，东莞真空箱氦检漏设备，多工件接口汇总成一个接口，方便实现工件接口的自动对接，并实现了一箱多检，大大提高了氦检效率；
②工件连同工装板运行至充高压气体、抽空、充氦三合一工位，充气接头与工装板上的汇总接头自动对接，完成检大漏抽空充氦，完成后接头自动脱落，工件随流水线从真空箱前门进入，进行氦气检测，完成后箱门垂直提升打开，箱内动力辊筒启动，真空箱氦检漏设备批发，工件从真空箱后门出来；
③工件氦检完随线体运行出真空箱后，判断合格的、不合格的工件按图1所示分开运行至下一个工位；
④合格工件运行至回收工位，对工件内的氦气进行真空法回收，循环使用。回收工位自动接上接头，真空箱氦检漏设备多少钱，检测工件内压力小于设定值时报警，接头自动脱落合格产品下转；
⑤工件运行至下料工位，人工(或机械手)将工件取下氦检线体，空载工装板继续随线体下转至升降机，由底层输送线将工装板返回上料工位；
⑥不合格工件随线体运行至返修小屋，找出漏点返修后的空调两器随线体运行至上料工位重新按上述流程氦检。
这样就捋顺了物流，减少了工件等待时间，避免了人工搬运进出箱体。通过自动耐压预抽设备，与多个被检工件自动连接、断开，减少了人工插拔接头次数。
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。
灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。
标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念
（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；
（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；
（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。
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