真空镀膜机的维修方法介绍
一、当正在镀膜时真空度突然下降：
1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
2、坩埚被打穿（更换坩埚）
3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）
8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、***真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）
8、高低预阀是否密封可靠（注油）
真空镀膜机磁流体密封组件的安装
真空镀膜机磁流体密封组件的安装与使用:密封组件安装与使用时应注意注意被装的密封组件与轴的同轴度要求、磁流体的注入量应适当、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理、密封组件泄漏时检查：
1、注意被装的密封组件与轴的同轴度要求，借以保证密封间隙具有较小的偏心量。
2、磁流体的注入量应适当，在保证各级密封间隙中具有足够量的前提下，不可过多地注入磁流体，以防抽空时多余的磁流体进入真空室内，污染真空室。
3、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理，又应注意防止乙醇等清洗剂滴入磁流体密封组件内，以免引起密封组件的失效。
4、如发现密封组件泄漏时应从如下几点进行查找：a、磁流体是否失效；b、连接法兰与组件内静密封圈是否受到损坏；c、极齿齿型是否与转轴接触产生干摩擦；d、转轴与密封组件是否连接不当产生同轴度移位；e、磁铁是否退磁等。
真空镀膜机***的重要性
大家都知道，真空镀膜机的运行状况会直接影响镀膜成品的质量，为了更好的运行，要对真空镀膜机进行维护和***，那么，那么知道真空镀膜机维护和***的意义吗？下面，小编给大家讲解一下它们的意义。
设备的日常维护***是在生产中发现不正常现象，尽快解决。发现机械泵油减少要添加，不要认为油要定期才更换，否者到了维护时，泵的转子可能会磨损严重。例如，一些轴承工件转架卡，要更换轴承，否者等到它完全破碎，问题可就大了，可能会出现电机烧毁等问题。
定期维护***，有些人会问一个日常维护和定期维护的区别？实际上，每个设备都有使用寿命，例如，扩散泵用的硅油，使用寿命为两年左右，我们提早更换，这是浪费吗？不是，在生产中不希望出现设备故障，把日常维护***和定期维护***都做好了，不仅延长了设备的使用寿命，还减少了运行故障，提高生产效率。
