博为光电|性能稳定-合肥真空箱氦检漏设备

真空应用设备哪些部位容易出现泄漏，应该如何检漏？

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪，其灵敏度高达10-15Pa·m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9~10-13Pa·m3/。

一、氦质谱检漏仪是如何工作的？

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束

水检检漏方法的分析

目前，水检和氦检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏的方法，1.1 传统水泡法检测分析

水泡检漏法，属于检测精度要求不高的粗检漏，真空箱氦检漏设备哪种好，就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气，合肥真空箱氦检漏设备，然后放入水中，观察是否有气泡从被检工件中跑出来，如果有，则说明漏，而且指出什么位置泄漏，一般只确定被检件是漏还是不漏，而不需定量。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下，气泡检漏也可以定量。

检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。设充入的示漏气体为空气，漏率Qi可以用下列公式(1)算出：

(1)式中  Qi一在压力pt下对示漏气体i的漏率，Pa·m3／s；

D—气泡的直径，m；

n一气泡形成速率，s-1；

pF一示漏液体表面的大气压力，Pa；

空气在标准状态（0℃、101325Pa）下，气泡尺寸、冒泡间隔时间、漏率之间的关系参见表1。

通过分析水检法操作简单直观，而且能够查找漏点位置。

不同真空范围内的抽气时间计算

中真空领域的抽气时间计算

这里所指的中真空领域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之间，真空箱氦检漏设备生产厂家，中真空领域导管内的气体分子，真空氦检漏设备报价，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面讲的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。

真空抽气要考虑的要素：

(1)到达真空度；

(2)抽气速度；

(3)导通率；

(4)实际抽气速度；

(5)气体放出率；

(6)漏率。

用真空泵对真空腔体抽气时，初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如下图压强和抽气时间的关系。压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：

（1）选择表面放出气体少的材料；

（2）通过电解抛光等手段，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附；

（3）对腔体进行烘烤，促进表面吸附气体的放出。