氦检漏法
氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏过程中不受其它气体的干扰，因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa.m3.s-1。
运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是：通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同荷质比的离子在场中彼此分开，而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子，就会得到按照荷质比大小，依次分开排列的质谱图，这就是质谱。专门设计的把氦示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的原理是，当一个带电质点(正离子)以一定速度V进入均匀磁场的分析器中后，如果速度V的方向和磁场H的方向相垂直，它的运动轨迹为圆，不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹，这样，不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开，如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉，而在氦粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成氦离子流。并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时，氦气进入检漏仪氦质谱室中，使仪器发生灵敏的反应，产生检漏的作用。
由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。
不同真空范围内的抽气时间计算
高真空-超高真空领域的抽气时间计算
这里所指的高真空至超高真空领域，是指真空度在0.2Pa以下，对于高真空领域，要充分考虑容器壁以及容器内物体的气体放出，真空箱氦检设备价格，因此，抽气时间和抽气速度的计算方法和低真空领域不同。
p(t)———到达压强；
Se———实际抽气速度；
Ql———腔体漏气量；
Qg(t)———腔体内部放出气体量；
p0———初期压强。
气体的放出量Qg(t)随着时间t而减少。计算开始时，假定一个抽气时间，根据当时的放气量来求得到达的真空度。如果计算结果p(t)和所需的真空度不一致，则重新假定时间，根据新假设时间的气体放出量再次计算。不断重复，终让p(t)在所需的真空范围内。
高真空领域的抽气时间计算远比低真空领域复杂。真空腔体的内表面经过酒精清洗和150～200℃烘烤处理的两种情况下，后者的气体放出会减少10%左右，因此使用同样的抽气泵所能到达的真空度也会更高一些。
真空腔体内的部件形状和材质也极大地影响到达的真空度和抽气时间。如果使用了树脂类材料，则到达的真空度会比单纯考虑金属表面的气体放出要差2～3个数量级。内部使用螺钉时，螺纹部残留的气体随着抽气时间缓慢放出。为了加速螺纹部的气体放出，要在螺钉中心穿孔，或在螺纹侧面开一个出气孔。因此，内部构造越复杂，影响真空的因素就越多，要获得高真空，设计上就更需要经验。
目前氦检技术在空调两器生产中的应用情况
由于氦质谱检漏仪具有灵敏度高、反应快、度高、准确***、安全等优势，其它水检等检漏方法已逐步被取代。目前空调器生产用氦气做示踪气体的氦检漏方法包括吸法和真空箱检漏法。
吸氦检法是在工件内充入氦气，用氦质谱检漏仪的吸嘴在待检工件表面扫描，吸吸入的气体经节流后流入检漏仪质谱室，根据检出的氦气分压强的大小来判断漏孔的有无和大小。这种方法具有较高的精度。但它也有其明显的不足之处。①需要逐步检漏漏点，而空调器的焊点多达几百处，所以单独使用效率低；②吸法的精度与多种因素有关，如果吸与漏孔距离大于10mm时，所检漏率只有实际漏率的3~5%，如果吸的移动速度达到16mm/s，汕尾真空箱氦检漏设备，灵敏度将降到30%。由此可见，操作不当极易产生漏检；③吸法只能测单个漏点是否超标，而不能判断整体漏率情况。因以上几点不足，实际生产中，吸法一般配合真空箱法使用，当真空箱法检出不合格工件时，用吸法来找出不合格件的漏点所在。真空箱法是将充有氦气的工件放入箱内，然后对箱内抽真空，用氦质谱检漏仪探测真空箱内的氦气质量，推算出工件的实际氦漏率，该方法检漏便于迅速判断工件有无泄漏，可以称为“把关式”检漏法。在正常情况下，可以保证不漏检，真空箱设备的氦质谱检漏仪精度可以达到10-12Pa.m3.s-1(He)。实际生产中，由于考虑生产节拍（20~30秒），真空箱氦检漏设备哪家好，一般可以检漏率为4X10-7Pa.m3.s-1。相当于0.5g/年（R22的漏率），完全满足家用空调器的检漏需要。真空箱氦检法的缺点是不能发现工件的具体漏点，所以需增加吸法来找出不合格件的具体漏点。
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