真空磁控溅射镀膜机的维护***及安全工作措施
真空卷绕镀膜机的维护***及安全工作措施如下：
1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置导电作用。
2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化。
3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通。
4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。
5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水，以防止电极和基材烧毁。
6、在拆装设备各零部件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证设备密封。
7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗，必须以相同的润滑油充入。
8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量，并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护***。
9、定期检查各行程开关控制器，保证各工作部件处于正常工作状态。
10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。
11、定期检查各减速器的储油量及油质。
在镀膜的过程中，出现异样具体该真么处理呢？
大家在镀膜的过程中，可能有时候会发现，膜层上有时会出现白点的异样发生，经过技术人员的检测和排查，大部分都是因为产品周转运输或在炉内生产时素材受到污染，产品表面有尘点、毛丝等，PVD出炉后灰尘脱落露出底材颜色。所以大家在使用真空磁控溅射镀膜机镀膜过程中缩短产品在炉外停滞时间及炉内洁净度管控，减少***掉落在产品表面。有时膜层也会出现掉膜（点状掉膜、局部掉膜、边缘掉膜）情况，不知道大家有没有碰到过。它主要产生的原因是产品表面脏污，膜层无法在产品上沉积或结合力差，在自然或人为的因素下产品表面漏出底材，所以大家在镀膜前，一定要把产品清洗干净，避免污染产品，确保表面洁净度。还有一种经常出现的情况，就是出现彩虹纹（产品发彩，出现这种情况主要原因是彩虹纹主要体现在颜色较深的产品上，因生产过程中形成一定角度遮挡，膜层无法均匀、有效的覆盖在产品表面。因此镀膜的时候，要更改更改装夹方式，或者提高成膜能量。有的客户会发现，产品镀膜出来后会出现脏污情况，导致出现这个主要原因是产品出炉后周转过程中因人为因素造成的表面污染,解决流程是产品PVD下挂、检查、打包作业人员手套、指套洁净度及环境管控。
真空镀膜设备需要的环境要求真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室（或车间）的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。众所周，油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，***了泵的抽气性能。
