







真空镀膜机的安装
真空镀膜机应安置于清洁而干燥的室内。镀膜工作室的环境应是空气清洁,设有空调设备,室温一般在23~25℃之间,相对湿度为60%左右。
工作室温度太高会影响抽速,温度太低则机械泵难以起动。室内太潮湿会影响膜层质量。
由于大多数膜料都有不同程度的毒性,当钟罩打开时会飞散在室内空气中,因此在钟罩附近应安装抽风设备,以便在钟罩打开时抽掉真空室内的有***体与飞扬的碎屑。
镀膜机应装在靠墙处,但四周应留有检修与操作空间,并有冷却水源,水压约为3个大气压。镀膜机的防振要求不高,无需特殊机座,但必须安置平稳,不应有振动。
真空PVD镀膜基本步骤
1、前处理工艺:褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。
2、镀膜工艺:抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。
3、后处理工艺:清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量。抽真空:将真空室内的残余气体抽走。加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。镀膜:沉积膜层。冷却:避免工件氧化变色。
真空镀膜设备需要的环境要求
真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。
这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。众所周,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会更加严重,结果使泵的极限真空下降,***了泵的抽气性能。
工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合,而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。物质无论是固体还是液体,凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准,从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的工业部门,也适合于真空对洁净环境的要求。
