真空镀膜设备选购要点分析
真空镀膜设备选购要点分析如下：
1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。
4、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
5、根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。
6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。
7、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。
8、根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
9、完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。
如何减少真空镀膜设备中的灰尘？
使用真空镀膜设备进行镀膜时，镀膜表面的一层灰尘会影响真空镀膜的整体效果，那么该如何减少灰尘呢？
1、使用的源材料要符合必要的纯度要求；
2、样品取出后放置环境要注意清洁的问题；
3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理；
4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求；
5、工作人员有专门的服装，操作要戴手套、脚套等；
6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物；
7、技术上明确允许的颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限大致是多少；
8、室内空气流动性低、地面干净，如果是水泥地，需要覆盖处理。墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。
真空镀膜机的维修方法介绍
一、当正在镀膜时真空度突然下降：
1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
2、坩埚被打穿（更换坩埚）
3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）
8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、***真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）
8、高低预阀是否密封可靠（注油）
