高压电源是设备的关键技术之一，它主要为电子提供加速电压，其性能好坏直接决定电子束焊接工艺和焊接质量。电源是将其它形式的能转换成电能的装置。常见的电源是干电池（直流电）与家用的110V-220V 交流电源。电源自“磁生电”原理，由水力、风力、海潮、水坝水压差、太阳能等可再生能源，及烧煤炭、油渣等产生电力来源。
触发脉冲经过脉冲变压器隔离后经过预调器脉冲，功率放大后去触发调制板和截尾板工作。一般的输出电压精度为±2～4%之间，有不少新型电源IC 的精度可达±0.5～±1%；并且输出电压温度系数较小，一般为±0.3～±0.5mV/℃，而有一些可达到±0.1mV/℃的水平。电子束焊机用高压电源与其它类型的高压电源相比，具有不同的技术特性，技术要求主要为纹波系数和稳定度，纹波系数要求小于1%，稳定度为±1%，甚至纹波系数小于0.5%，稳定度为±0.5%，三相交流电源，同时重复性要求小于0.5%。
特种电源即特殊种类的电源。所谓特殊主要是由于衡量电源的技术指标要求不同于常用的电源，其主要是输出电压特别高，输出电流特别大，或者对稳定度、动态响应及纹波要求特别高，或者要求电源输出的电压或电流是脉冲或其它一些要求。如果群集中的所有硬件有2个或3个电源输入，则要求至少有三个电路，以确保群集的电路设计中没有单点故障。发电机能把机械能转换成电能，干电池能把化学能转换成电能。在及军事上，特种电源更有普通电源不可取代的用途，主要用于：雷达导航、高能物理、等离子体物理及核技术研究等。
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