







真空镀膜机使用前的准备工作

在使用真空镀膜机前,必须详阅使用说明书,熟悉整机结构原理,各部件的作用和操作方法。
1、确认水、电、气均已安装无误后,先试运行滑阀泵、罗茨泵,其转动方向要与各泵规定的方向一致。
2、检查设备的各个动力传动装置运转是否正常。
3、检查卷绕车的开动情况,检查卷绕车与真空罐对接的密封是否可靠,检查装于导轨上的各个行程开关是否工作正常,检查履带的安放及***情况是否完好。
4、按照从低真空到高真空的次序,逐级调试真空系统,检查各个环节的密封是否可靠,各个阀门开闭是否灵活,霍尔开关位置是否正确,各真空泵均应运转平稳、无异常振动、无异常噪音。
真空镀膜机的工作原理是怎样的?

真空镀膜机的运用非常广泛,涉入到各个行业,也广受大家喜爱,那么它的工作原理是怎样的呢?下面至成真空小编为大家详细的介绍一下,希望能帮到大家:
真空镀膜设备主要指需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括多弧离子真空镀膜设备,真空离子蒸发,光学镀膜机,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。真空镀膜的工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。
真空镀膜技术在光学仪器中的应用

人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪、以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等。它们都离不开镀膜技术,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。
一般光学仪器中的光学系统都由多个透镜组成,光线要经玻璃界面,会有相当多的光线被反射掉,透过的光线很少,影响光学仪器的光学效果。为了减少反射损耗,增大光线的透过率,往往在玻璃表面沉积增透膜来提高光的透过率。反射膜与增透膜相反,反射膜要求把入射光大部分或几乎全部反射回去。例如:光学仪器、激光器、波导管、汽车和灯具的反射镜都需要镀反射膜。反射膜有金属膜和介质膜两种。镀制金属高反射膜常用的材料有铝、银、金、铜等。为了提高金属膜表面的抗擦损能力,往往在表面镀一层保护膜,如SiO/SiO2/Al2O3。
在激光器和多光束干涉仪反射镜上,一般沉积低吸收、高反射的全介质反射膜。其结构是在基片上交替沉积光学厚度为λ/4的高、低折射率材料的膜层。
