真空镀膜机的自控检测装置
真空镀膜机有一个自控检测装置，它可以被动的进行动态防护。在实际运用过程中，为了研究和改进检测装置，考虑到温度影响过滤材料的吸附和吸收性能，会将装置置于空调房间。湿度一方面影响过滤材料吸湿，又会对***吸收性能产生影响，要求严格控制。根据催化剂测定管和比速来确定，流量的大小与动态防护时间成反比，***浓度与动态防护时间也成反比，其波动还会影响到终点确定。
为了满足要求不时的也会做出各种改进，主要方面有用E+E29型温湿度传感器代替了干湿球湿度计，通过控制干湿两路流量比，代替了原来的玻璃调湿槽，采用喷射泵技术，在较低的***压力下，实现了长时间***均匀混合，浓度稳定。
如何***镀膜机才能寿命更长？
真空镀膜机就是：蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。
那么在使用的同时，我们怎么去***他，爱护它，从而让他寿命更长呢？
一般扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，真空镀膜设备便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。
方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。
方法是：用NaOH饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意***皮肤不可以直接接触NaOH溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。
当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
真空镀膜设备的正常工作条件
1.环境温度：10~30℃
2.相对湿度：不大于70%
3.冷却水进水温度：不高于25℃
4.冷却水质：城市自来水或质量相当的水
5.供电电压：380V，三相50Hz或220V，单相50Hz，电压波动范围342~399V或198V~231V，频率波动范围49~51Hz；
6.设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。
7.设备周围环境整洁、空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
