







离子镀膜设备的工作原理及操作方法目前商业上已有很精制的设备安装在显微镜下的载物台的位置上。溅射镀膜时,将抛光的试样安放在式样头具上,倾转到面对电子(阴极)的位置,调节溅射室中的气压,辉光放电,阴极溅射,反应溅射沉积。一定时间后,中断溅射,把溅射沉积的试样表面,转回到面对物镜的位置,观察试样表面的颜色,来评定沉积膜的厚度,当要求的颜色得到时,镀膜操作停止。
光学镀膜机对于单片膜色不均匀产生的原因
光学镀膜机对于单片膜色不均匀产生的原因光学镀膜机主要是由于基片凹凸严重,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,形成的膜厚差异大。另外镜片被镜圈()边缘部遮挡、镜圈()脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。改善思路:改善镜片边缘的蒸发角。改善对策:㈠ 条件许可,用行星夹具;㈡ 选用伞片平坦(R大)的机台;㈢ 根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。㈣ 如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可改善单片的膜色均匀性。㈤ 改善镜圈(),防止遮挡。㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡㈦ 清洁镜圈()㈧ 改善膜料蒸发状况。
空镀膜设备厂家分析真空镀膜设备的处理方法加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至较小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。
