如何判断真空系统是否存在真实的泄漏
压升测试
压升测试也叫保压测试或保真空测试。在真空下关闭真空泵和腔室之间的阀门，放气、虚漏或者泄漏会造成腔室的压力升高（反弹），将压力增加除以经过时间，可以计算出真空系统的压力上升速率，并绘制成如下图所示的曲线。压力上升和下降的速度通常以Pa/hr表示，对于一般的工业真空设备，保压测试时，真空箱氦检设备价格，超过1Pa/hr的压升率就需要调查和解决问题，阳江真空箱氦检漏设备，有些高真空的设备，需要0.5Pa/hr甚至更低的压升率
如果多次测量的压升率基本恒定不变，那么很可能系统有真实的泄漏。对应的，随着时间的推移，其压升率下降，即系统压力的增加速度会随着时间的推移而减慢，则暗示有虚漏或放气（可能也有小的泄漏）。
检漏
1.真空计测漏
一般的真空计测漏是用酒精作为检漏液。测漏时在有漏的地方喷洒酒精，若酒精喷洒在漏气处时，真空计会显示压力下降然后再上升的现象。这是因为酒精进入漏气处暂时有堵漏的作用，故真空系统压力下降。当酒精穿过漏气处到达真空系统内部会立即变成蒸气，故真空系统中的压力再上升。
2.检漏仪测漏
将检漏仪接入设备的抽气管路。设备先由泵抽气到检漏仪工作压强，然后切换到检漏仪。然后向怀疑有漏的地方喷吹氦气，若有漏气，则检漏仪的显示会有明显变化。真空检漏技术
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，真空检漏技术
工作原理：
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，如图3所示。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，真空箱氦检漏设备生产厂家，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
外漏和内漏
我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。
罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，真空箱氦检漏设备哪家好，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。
外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。
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