多晶硅超纯水设备的工艺流程
多晶硅超纯水设备的工艺大致分成以下几种
1、采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→***级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
多晶硅超纯水设备概述
多晶硅对水质要求十分严格, 通常要求水的电导率在0.1us/cm(电阻值在10兆欧姆)以上，传统工艺是常采用阴阳树脂交换设备，该工艺的缺点在于树脂在使用一段时间以后要经常再生。随着膜分离技术的不断成熟，现在常常采用反渗透过滤工艺，或者是采用一级反渗透后面再经过离子交换混床(或电去离子EDI)工艺来制取超纯水。
多晶硅超纯水设备特点
超纯水设备的工艺通常是采用离子交换树脂进行制取，但采用离子交换树脂通常需要经常性的进行树脂再生，即耗费物力又浪费人工，我们公司经过多年实践，同时结合新的膜分离技术，常采用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合用来制备超纯水，该工艺与传统工艺相比具有运行成本低的优点(离子交换器的再生周期大大延长)，运行可靠。与新工艺相比具有造价低，耗材易得的优点。反渗透工艺技术***，可靠。
三种多晶硅超纯水设备的工艺比较
目前多晶硅超纯水设备的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面
1、***种采用离子交换树脂其优点在于初***少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的***性。
2、第二种采用两级反渗透设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但无须树脂再生。其缺点在于相关膜原件需定期清洗或更换，水质相对来说不是太高，大都只能做到1us/cm左