清远真空箱氦检漏系统-博为光电|产品众多-氦质谱真空检漏

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

外漏和内漏

我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。

罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，真空氦检漏系统，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，真空氦质谱检漏仪，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，氦质谱真空检漏，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。

汽机真空系统检漏方法

空气泄漏造成危害很大，必须采取一些手段在停机和运行时都要进行查找，消除漏点，提高真空。以下是几种常见的检漏手段。

（1）找漏：当停机时，在条件允许的情况下，向凝汽器，然后查找泄漏的地方，发现漏点及时修补处理，清远真空箱氦检漏系统，处理之后需要再次找漏。找漏的缺点是，必须在停机，而且是在冷态时检漏。另一个缺点是，查漏不完全。那些只有膨胀压力下才有的泄漏，办法找不到漏点。

检漏，不适用于空冷岛检漏。

关于真空检漏

1．概漏的基本概念

真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。

漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。

虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。

气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。

可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的值数。

好的灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在佳条件下所能检测出的小漏率。对于检漏仪器来讲，灵敏度又称作仪器灵敏度。

检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。

反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。

消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。

漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量