国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些公司的规范为0.67Pa/h。真空加热以辐射为主，工件在炉内大概坚持距离.升温过程中，工件及炉内资料会放气，使真空度降低.8，真空回火、真空退火、真空固溶处置及真空时效的加热温度通常与惯例处置时加热温度一样.真空热处理真空回火炉大概具有快冷设备。冷却水的压力大概大于0.2Mpa，流量应可调.冷却气体：钢通常选用百分之99.99纯度的氮气，高温合金选用百分之99.99的氢气或亚气，钛合金选用百分之99.99的亚气.真空热处理升温：放入工件后，通常先预抽至6.67Pa时方可升温加热。
真空热处理是负压气氛下的热处理，横沥真空氮化热处理，其加热过程称为真空加热。这个过程要维持的气压状态（工作压力或工作真空度一般在10010-3Pa左右。根据气体分析，真空炉在此压力下的残余气体，如水蒸气、氧气、二氧化碳、油脂等有机蒸气含量很小，不足以使处理后的金属材料产生氧化、脱碳、渗碳等。真空加热时，由于大气中的氧分压低于被加热金属表面氧化物的分解压力，氧化受到***，因此处理后的金属表面亮度与原始表面相比可以在很大程度上保持不变。可见，真空不仅能保护工件不受热，还能保持金属原有的光亮表面，所以真空热处理也属于光亮热处理范畴。
利用金属在真空状态下的变相特点，在与大气压只差0.1MPa范围内的真空下，固态相变热力学、动力学不产生什么变化。在制订真空热处理工艺规程时，大岭山真空氮化热处理，完全可以依据在常压下固态相变的原理，茶山真空氮化热处理，完全可以参考常压下各种类型***转变的数据。同时，在真空脱气作用下，可以提高金属材料的物理性能和力学性能，氮化热处理，在真空状态下加热，金属工件表面元素会发生蒸发现象。金属实现无氧化加热所需的真空度，表面净化作用，实现少无氧化和少无脱。
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