安徽真空氦质谱检漏仪-博为光电|工厂直发(图)

由于每款检漏仪校准方法各不相同，限于篇幅，本文不作详述。值得一提的是，一些检漏仪会内置标准漏孔。内置标准漏孔在使用一段时间后，真空氦质谱检漏仪，漏率会衰减。因此需要找专门计量单位对内置漏孔进行校准，通常漏孔每年校准一次。2）外部校准外部校准即是对整个检漏系统校准，系统使用一段时间后，系统的分流因子可能会发生改变，因此需要定期使用标准漏孔来校准系统，以确定分流比是否已经改变。如果改变需要适当调整系统的报警点。

背压法氦质谱检漏采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。

真空箱氦检漏及回收系统基本原理采用背压法对被检工件进行漏率检测，并对氦气进行回收利用。首先对被检工件放入真空箱内，充入一定压强的氮气，作耐压测试，通过保压判断压降确定是否有大漏；然后对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，真空箱与检漏仪的检漏口相接，若被检工件有泄漏，则漏入真空箱的氦气可通过检漏仪测出。