过滤器检漏常用的仪器有：尘埃粒子计数器和5C气溶胶发生器。尘埃粒子计数器用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目，可直接检测洁净度等级为十级至三十万级的洁净环境。体积小、重量轻、检测精度高、功能操作简单明了，微处理器控制，海南GXG过滤器，可贮存、打印测量结果，测试洁净环境十分便利。5C 气溶胶发生器TDA-5C气溶胶发生器能产生一致的多种直径分布的气溶胶粒子，TDA-5C气溶胶发生器与TDA-2G或TDA-2H等气溶胶光度计配合使用时能提供足够的挑战粒子去测量过滤系统。
油雾法起源于德国，中国和前苏联也实行。测试尘源为油雾，GXG过滤器厂家，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3~0.5µm。中准规定油雾平均重量直径为0.28~0.34µm，对油的种类未做具体规定。相关的标准有：中国GB6165-85，GXG过滤器报价，德国DIN24184-1990。油雾法在检测过滤器时，GXG过滤器价格，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，浪费时间。德国油雾法已成为历史，德国于1993 年颁布了以计数法为检测方法的，欧洲标准EN-1822就是在德准的基础上制定的。我国只有少数单位使用该方法。
和超过滤器均用于洁净室末端，以其结构形式可分为有：有隔板过滤器、无隔板过滤器、大风量过滤器，超过滤器等。另外还有三种过滤器，一种是超过滤器，能做得到净化99.9995%。一种是型无隔板空气过滤器，具有作用，阻止***进入洁净车间，一种是亚过滤器，价格便宜以前多用于要求不高的净化空间。
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