





匀胶机简单介绍
送片盒中的晶片,数转胶存档机,自动送到承片台上,用真空吸附,数转胶存档机价格,在主轴电机的带动下旋转,转速100-9900转/分(±10转/分),起动加速度可调。
每道程序的持续时间,转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等工艺参数均可通过编程控制。
匀胶机有一个或多个滴胶系统,可涂不同品种的光刻胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大,数转胶存档机价格,出现了多点滴胶或胶口移动式滴胶。
胶膜厚度一般在500-1000nm,同一晶片和片与片间的误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式两种,并有流量计进行恒量控制。对涂过胶的晶片有上下刮边功能,去掉晶片正反面多余的光刻胶。
烘烤工位,有隧道式远红外加热,微波快速加热以及电阻加热的热板炉等。涂胶后的晶片要按一定的升温速率进行烘干。烘烤过程在密封的炉子中进行,通过抽真空排除挥发出来的***物质。前烘结束后,将晶片送入收片盒内。
主轴转速的稳定性和重复性是决定胶膜厚度均匀性和一致性的关键,起动加速度的大小是决定是否能将不同粘稠度的光刻胶甩开并使胶均匀的决定因素。

匀胶机材质的选择
匀胶机对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,国产的大部分匀胶机采用的是铁板喷漆或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。目前有些国外品牌采用天然聚或者聚四氟乙烯(特氟隆)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

存档原理详细介绍
镜头是把扫描信息传送到CCD处理的一关,它的好坏决定着扫描仪的精度。扫描精度即是指扫描仪的光学分辨率,主要是由镜头的质量和CCD的数量决定。由于受制造工艺的限制,数转胶存档机价格,目前普通扫描头的高分辨率为20000像素,应用在A4幅面的扫描仪上,可实现2400dpi的扫描精度,这样的精度能够满足多数领域的需求。

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