关于真空检漏漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔,由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示),无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时,如果不加特殊说明,则是指在漏孔入口压力为1。01×105Pa,出口压力低于1。33×103Pa,温度为296士3K的标准条件下,单位时间内流过漏孔的温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米/秒,记为Pam3/s。为了方便,有时用帕斯卡×升/秒,记为PaL/s。
并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时,氦气进入检漏仪氦质谱室中,使仪器发生灵敏的反应,产生检漏的作用。由于空气中氦气,氦质谱仪的本底电流及噪音也很少,因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响,这样可以测出极为弱小的讯号,从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体,具有分子小,质量轻,扩散快,真空氦质谱检漏仪,穿透性强,响应快且稳定,加之不起化学作用,不污染工件,操作安全等特点,导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。
真空设备安装调试过程中的检漏步骤安装调试阶段是真空设备或系统检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证,那么在设备安装、调试过程中,检查、保证连接部位的密封性,是检漏工作的***。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等***部位。若同时对焊缝和连接部位检漏,则检漏的工作量和难度都加大。
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