




cvd管式炉在冷炉使用时有哪些注意事项呢?【 河南成仪设备科技有限公司】帮大家总结了一些相关知识。
冷炉使用时,由于cvd管式炉的销膛是冷的,须大量吸热,所以低温段升温速率不宜过快,各温度段的升温速率差别不宜太大,设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质,以免出现喷料现象,污染炉管。
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1、cvd管式炉应放在干燥通风、无腐蚀性气体的地方,工作环境温度为10—50℃,相对温度不大于85%。
2、定期检查各部分***有否松动,交流接触器的触头是否良好,出现故障应及时修复。
3、1400度以下的cvd管式炉发热元件是硅碳棒,发现硅碳棒损坏后,应更换规格相同并且电阻值相近的新硅碳棒。更换时先卸下两端保护罩与硅碳棒夹头,然后取出已损坏的硅碳棒,由于硅碳棒易断,安装时须小心,两端露炉壳外部分应相等,夹头必须紧固,使之与硅碳棒接触良好。如果夹头有严重氧化时应换新的。硅碳棒两端安装孔处的隙缝应用石棉绳堵塞。
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cvd管式炉和控制器必须在相对湿度不超过85%,没有导电尘埃、一些气体和能够***金属绝缘以及对电子原件***的腐蚀性气体的场所工作。为了您的安全还请您谨慎进行操作。
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