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石墨热场
石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸的石墨热场。热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。
在加热过程中三瓣埚的热源来自两个方面，广西G6+热场，一是加热器的辐射，二是来自于石英坩埚的传导，这就导致三瓣埚受热不匀，加热时沿某些方向膨胀，G6+热场制造商，沿另一些方向收缩，从而导致三瓣埚断裂。G6+热场石墨热场是多晶硅铸锭炉的心脏、其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。石墨热场是真空电阻炉的部分，G6+热场定制， 石墨热场的设计是多种多样的，具体选择哪一种设计方案，主要基于对工艺流程的具体分析。为了能够从炉膛中方便地安装和移除，所有的石墨热场都被建造成为模块的形式。G6+热场
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