纵观目前国内外的研究现状和成果，该领域的检测方法和表征方法可采用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜等技术，但高分辨率扫描电子显微镜的观察和尺寸检测由于其简单性和可操作性的优点而被广泛使用。此外，如果将扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜结合起来，可以将普通的扫描电子显微镜升级为高分辨率的扫描电子显微镜。
块状样品的制备
对于块状导电样品，基本上不需要进行什么制备，只要其大小适合电镜样品底座尺寸大小，即可直接用导电胶带把样品黏结在样品底座上，放到扫描电镜中观察，为防止假象的存在，在放试样前应先将试样用或酒精等进行清洗，必要时用超声波清洗器进行清洗。对于块状的非导电样品或导电性较差的样品，要***行镀膜处理，否则，样品的表面会在高强度电子束作用下产生电荷堆积，影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降，因此这类样品要在观察前进行喷镀导电层的处理，在材料表面形成一层导电膜，避免样品表面的电荷积累，提高图象质量，并可防止样品的热损伤。
扫描电子显微镜SEM
扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，天津高分辨透射电镜分析， 通过光束与物质间的相互作用， 来激发各种物理信息， 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大， 视野大， 成像立体效果好。此外， 扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合， 可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用
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