




提供***化学技术的多样化解决方案
成立于1985年,总部设在美国新泽西州,富兰克林市,高速成长并超过20年连续盈利的跨国公司
公司业务覆盖范围包括北美,亚太以及欧洲
基于多样化的技术
应用领域:微电子、光电子、LED、太阳能光伏、微机电系统、生物芯片、微流体、平面印刷
解决方案:的光刻胶、掺杂涂层、平坦化涂层、旋制氧化硅(spin-onglase)。阻挡层(Barrior Layere)、湿法制程
客户:从财富100强到以风险***为背景的设备研发及制造公司
使命
目标
提供特殊***和全新工艺来增加客户的产能
策略
提供的产品来优化生产制程,以提高设备能效
领的技术提升生产过程中的整体
工艺步骤的减少降低了成本和产生瑕疵的可能
增加客户的产能和生产的效率
工艺减化
非同寻常的显微构造、金属及介电层上的图形转换、光刻、平坦化、掺杂、蚀刻、邦定
在生产过程中,不含***溶剂
支持所有客户的需要,与客户共创成功
PR1-2000A1PR1 1500A1光刻胶
4,***
前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行***,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,
光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;
对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。
***时间,由光源强度,光刻胶种类,厚度等决定,
另外,为降低驻波效应影响,可在***后需进行烘焙,称为光后烘焙(PEB)
PR1-2000A1 试验操作流程
PR1-2000A1的厚度范围可以做到 1500到3500nm,如下以膜厚2900nm为列;
1,静态滴胶后以1300转/分速度持续40秒。同时必须需要在1秒内达到从0转/分到1300转/分的升速度;
2,PR1 1500A1光刻胶价格,前烘:热板120度120秒;
3,冷却至室温;
4,PR1 1500A1光刻胶哪家好,用波长为365,406,436的波长***,PR1 1500A1光刻胶,
5,PR1 1500A1光刻胶公司,在温度为20-25度,使用RD6浸泡式、喷雾、显影 ;
6,去除光刻胶,可使用CH3COCH3,RR5,RR41等。
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