半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1.硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。
2.掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3.蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六氟等。
4.反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5.金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三等。
工业气体在购买后，为了保证使用，其存放也需要也别注意，今天小编就跟大家讲一下：
1.首先要应对气瓶的漆色、查验日期、外观、各种标贴及其安全装置停止检查，承认盛装气体正确无误。
2.应对气瓶的漆色、查验日期、外观、各种标贴及其安全装置停止检查，承认盛装气体正确无误，
3.不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、二氧化碳等）停止试验剖析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
4.气瓶不运用时应戴瓶帽。若只能接受一般的工业运送，假如遭受剧烈震动、碰击、倾倒，则会损坏以致不能运用。在贮存、运送及运用杜瓦罐时不能使其卧倒，应永远使杜瓦罐坚持直立状态。 液化气体温度低，容易惹起 。
铁氧化后不只会有铁锈还有氢气等其他对******的气体被排出。铁被氧化后形成铁锈，铁锈很疏松，很简单形成小颗粒混入氧气中。被吸入，然后引起等呼吸道的损伤。所以氧气生产上很大程度的降低氧气中的水分含量是极其重要的。
工业氧是用于工业生产及产品加工的气体，质量要求较低一般要求纯度在99%以上为合格。灌装规程不如氧气严厉，常常会有水分和其他杂质混入而且残留在钢瓶氧气钢瓶中，混入和残留在钢瓶中的水份会导致氧气瓶内壁锈蚀，然后使瓶内气体带有异味。
