半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1.硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。
2.掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3.蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六氟等。
4.反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5.金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三等。
工业氧气的用途
工业氧主要用于气体火焰加工和其他工业目的，执行的是***推荐性标准。
在化工行业，工业氧气用于改变产品分子结构，提高乙烯、丙稀、氯化物工艺的生产能力。
在炼油、煤制气行业，工业氧气用于石油提取和精制，增加油、气井产量和脱硫等。
在炼钢行业，工业氧气用于提高钢材的产量和质量。
制备流程
主要应用深度冷冻原理从空气中分离出氧气。主要包括下列几个过程：
1、空气的压缩；
2、空气中水分和二氧化碳的清除；
3、空气被冷却到液化温度：氧在-182.9度变为淡蓝色液体，而氮气要在-195.8度时变为易流动的液体；
4、冷量的制取；
5、空气的液化；
6、精馏：在精馏塔亦即上下塔中进行；
7、***杂质的清除。
工业氧气在生活中的作用很大，多被运用于冶金工业、化学工业、工业、***方面，为我们的日常生活带来了许多帮助与便当，下面我们就和小编一起了解下高纯氧气有哪些具体作用吧！
高纯氧气除直接用作燃料和冷冻剂之外，很多用于制取多种有机组成质料，如经脱氢可制丁烯和丁二烯;经异构化可制异丁烷;经催化氧化可制顺丁烯二酸酐、醋酸等；经卤化可制卤代丁烷；经硝化可制硝基丁烷；在高温下催化可制;经水蒸汽转化可以制取氢气。
