




北京赛米莱德贸易有限公司供应美国Futurrex新型lift-off光刻胶NR9-3000PY,NR9i-3000PY有下面的优势: 1. 比较高的光刻速度,可以定制光刻速度来***产量 2. 比较高的分辨率和快的显影时间 3. 根据***能量可以比较容易的调整侧壁角度 4. 耐温可以达到100摄氏度 5. 用RR5去胶液可以很容易的去胶 NR9-3000PY的制作和工艺是根据职业和环境的安全而设计。
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前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行***,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,
光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;
对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,PR1 2000A1光刻胶,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。
***时间,由光源强度,光刻胶种类,厚度等决定,
另外,为降低驻波效应影响,可在***后需进行烘焙,称为光后烘焙(PEB)
PR1-2000A1 试验操作流程
PR1-2000A1的厚度范围可以做到 1500到3500nm,PR1 2000A1光刻胶多少钱,如下以膜厚2900nm为列;
1,静态滴胶后以1300转/分速度持续40秒。同时必须需要在1秒内达到从0转/分到1300转/分的升速度;
2,前烘:热板120度120秒;
3,冷却至室温;
4,用波长为365,PR1 2000A1光刻胶价格,406,436的波长***,
5,在温度为20-25度,使用RD6浸泡式、喷雾、显影 ;
6,去除光刻胶,可使用CH3COCH3,RR5,RR41等。
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