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扫描显微镜是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的观察方法。它使用窄聚焦高能电子束扫描样品，通过电子束与材料之间的相互作用激发各种物理信息，并收集，放大并重新成像这些信息以表征材料的微观形态。

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